Inclinometers: hoeken en hellingen meten

Een inclinometer op basis van MEMS haalt een nauwkeurigheid van maximaal 0,1 graad. Zo’n sensor kost typisch een paar tientjes. Er zijn natuurlijk ook meetoplossingen op de markt die tot op de duizendste graad precies de tilt kunnen meten. Dan kom je in een heel andere prijsklasse. Dergelijke inclinometers zitten in de categorie van (ruim) boven de duizend euro. Die nauwkeurigheid kun je echter alleen bereiken in een goed geconditioneerde ruimte, en met een stabiele ondergrond, zoals bijvoorbeeld in een halfgeleiderfabriek. Daar heb je ook zeer hoge nauwkeurigheden nodig omdat de wafers extreem vlak moeten liggen zodat het patroon er goed kan worden afgebeeld.

Alleen voor toepassingen waar je iets heel precies moet meten, en waar je alle externe effecten kunt uitsluiten, zet je de stap naar geavanceerde inclinometers.